氣體性質 氣體種類：不同種類的氣體分子大小和性質不同。例如，氫氣分子較小，在相同條件下更容易被抽取，而一些分子量較大的氣體，如某些有機蒸汽，抽取相對困難，會影響真空泵的工作效率。 氣體溫度：氣體溫度過高，分子熱運動劇烈，氣體的粘性和密度會發生變化，導致真空泵抽氣時需要克服更大的阻力，同時也可能影響泵內潤滑油的性能，進而降低工作效率；溫度過低則可能使氣體凝結，堵塞管道或影響泵的正常運行。 真空泵自身因素 泵的轉速：在一定范圍內，轉速越高，單位時間內滑閥的往復運動次數越多，吸氣和排氣的頻率也越高，抽氣速度就越快，工作效率也就越高。但轉速過高也可能導致泵的磨損加劇、發熱嚴重，反而影響效率和使用壽命。 部件磨損：滑閥、偏心輪、軸封等部件在長期運行后會出現磨損。當滑閥與泵體之間的間隙因磨損而增大時，會導致氣體泄漏增加，降低泵的壓縮比和抽氣效率；軸封磨損則可能使外界空氣進入泵腔，影響真空度和抽氣效果。 泵油性能：泵油起著潤滑、密封和冷卻的作用。如果泵油的粘度不合適，粘度過大，會增加運動部件的摩擦阻力，降低泵的運行速度；粘度過小，則難以形成良好的密封，導致氣體泄漏。此外，泵油長期使用后會變質、污染，性能下降，也會影響真空泵的工作效率。